特許

J-GLOBAL ID：200903060550954980

超純水の比抵抗調整方法および比抵抗調整装置

発明者： 岩渕 宗之 ,  久波 信二
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社 ,  エヌジーケイ・フィルテック株式会社
代理人 (1件)： 長谷 照一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-015666
公開番号（公開出願番号）：特開平10-212105
出願日： 1997年01月29日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】炭酸ガスを疎水性透過膜を透過して超純水に溶解させて、超純水の比抵抗値を調整する場合に、炭酸ガスの疎水性透過膜への透過を円滑にして、超純水の比抵抗値を効率よく低減させる。【解決手段】処理室内を流通する超純水に炭酸ガスを溶解させて超純水の比抵抗値を調整する超純水の比抵抗調整方法において、超純水における疎水性透過膜との接触する水流に、乱流発生手段13,18の作用で乱流を生じさせることにより、炭酸ガスの気泡の透過孔の開口からの離脱を助勢するとともに、離脱後の気泡の超純水への拡散を助勢して、超純水への炭酸ガスの溶解を促進させて、超純水の比抵抗値を効率よく低減させる。

請求項（抜粋）：

一定流量の超純水を常時流通させる処理室内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させる疎水性透過膜にて形成された流通路に炭酸ガスを流通させて、炭酸ガスの一部を同流通路を構成する疎水性透過膜を透過させることにより、前記処理室内を流通する超純水に炭酸ガスを溶解させて超純水の比抵抗値を調整する超純水の比抵抗調整方法において、前記超純水における前記疎水性透過膜との接触する水流に乱流を生じさせることを特徴とする超純水の比抵抗調整方法。

IPC (3件)：

C01B 5/00 ,  B01F 1/00 ,  H01L 21/304 341

FI (3件)：

C01B 5/00 Z ,  B01F 1/00 B ,  H01L 21/304 341 S

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-027603
  
• 特開昭60-110282
  
• 特開平2-279158