特許
J-GLOBAL ID：200903060553315008
基準面の形状測定法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-012634
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203424
出願日： 1992年01月28日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 コリメーティングレンズのNAよりも大きなダミーレンズを必要としないで基準面の表面形状を測定する。【構成】 ダミー10を第1の回転軸回りに回転させて得られる平均回転成分を、ダミー10のみを第2の回転軸回り回転させてその回転ごとに重畳していく。第2の回転軸回りの少なくとも1回転分の重畳が終了したら、重畳されたデータを重畳回数で平均化する。
請求項（抜粋）：
測定対象物からの反射波面と基準面による参照波面とを干渉させ、その際の干渉縞パターンによって前記測定対象物の形状を測定する干渉計システムで使用される前記基準面の形状測定法であって、(1)前記測定対象物の代わりとなるダミーの表面形状を、第1の回転軸回りに少なくとも1回転させながら測定し、この測定により得られた表面形状データを平均化した平均回転成分を前記基準面に重畳させること、(2)前記ダミーを第2の回転軸回りに変位させてこの変位後のダミーの表面形状を前記第1の回転軸回りに少なくとも1回転させながら測定し、得られた表面形状データを平均化した平均回転成分を求め、前記基準面にさらに重畳させること、(3)上記(2)の操作を前記第2の回転軸回りの変位が少なくとも該第2の回転軸の1回転分となるまで行ない、各変位ごとにダミーの表面形状を測定して得られた表面形状データの平均回転成分を前記基準面に順次重畳させること、(4)前記重畳手順を繰り返して得られた重畳データを重畳の回数で平均化すること、からなることを特徴とする形状測定法。
IPC (2件)：
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