荷電粒子線装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-164839
公開番号（公開出願番号）：特開2005-005022
出願日： 2003年06月10日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】イオンビームや電子ビームなど、荷電粒子線の偏向現象を、改善ないし緩和することのできる荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】荷電粒子輸送路の途中に、該輸送路を遮るために、隔離弁を設けた荷電粒子線装置において、該隔離弁を、導電性接着、圧着、溶接のうちの、少なくとも1つの手段を用いて、接地した。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

荷電粒子輸送路の途中に、該輸送路を遮るために、隔離弁を設けた荷電粒子線装置において、該隔離弁を、導電性接着、圧着、溶接のうちの、少なくとも1つの手段を用いて、導線にて接地したことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (1件)：

H01J49/40

FI (1件)：

H01J49/40

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-102843
特開昭62-177839
ストロー管ドリフトチヤンバの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-069109 出願人：アドバンスドインターコネクシヨンテクノロジーインコーポレイテツド

全件表示

前のページに戻る