特許

J-GLOBAL ID：200903060565147089

光学薄膜、光学部材およびそれを搭載した露光装置

発明者： 石沢 均
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-095553
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296403
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【目的】光学部材の表面に汚染物質が付着して光学性能が低下した場合、簡単な方法で光学性能を回復させることである。【手段】光学部材の最表面に拭き取り可能な膜をコーティングしておき、汚染物質が付着したらその膜とともに汚染物質を拭き取って除去し、再度拭き取り可能な膜をコ-ティングして光学性能を回復させる。

請求項（抜粋）：

拭き取りにより除去できることを特徴とする光学薄膜。

IPC (3件)：

G02B 1/10 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  G02B 1/10 Z ,  H01L 21/30 503 G ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (11件)：

2K009AA07 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD02 ,  2K009DD03 ,  2K009EE05 ,  5F046AA28 ,  5F046BA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB12