特許

J-GLOBAL ID：200903060566680872

表面検査装置

発明者： 高橋 伸輔 ,  松井 道宏
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-201411
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022667
出願日： 2000年07月03日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】ウエブ状の被検査物を安定に搬送すると共に、精度良く被検査物表面の欠陥の有無を検査することができる表面検査装置を提供する。【解決手段】 検査ローラ10の表面に設けられたスパイラル状の溝16により磁気記録媒体12と検査ローラ10との間にエアフィルムが発生するのを防止し、レーザ光の出力端部19Aと反射光の入力端部21Aを備えたスキャナー14Aで磁気記録媒体12の表面を走査すると共に、同じ構造のスキャナー14Bでスキャナー14Aが走査した箇所と同一周上の箇所を同時に走査し、両方のスキャナーが欠陥を検出したときだけ欠陥有りと判断する。

請求項（抜粋）：

表面に溝が軸方向に沿って設けられた検査ローラと、前記検査ローラに張架されたウエブ状の被検査物の表面に光を投光する投光部及び前記被検査物からの反射光を受光する受光部を有し、被検査物を走査するように被検査物の幅方向に移動される第1の走査器と、前記検査ローラに張架されたウエブ状の被検査物の表面に光を投光する投光部及び前記被検査物からの反射光を受光する受光部を有し、前記被検査物の第1の走査器が走査した箇所と同一周上の箇所を走査するように第1の走査器と共に被検査物の幅方向に移動される第2の走査器と、前記第1の走査器からの情報と前記第2の走査器からの情報とに基づいて欠陥の有無を判定する欠陥判定器と、を備えた表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/892 ,  G01N 21/89 ,  G11B 5/84

FI (3件)：

G01N 21/892 A ,  G01N 21/89 S ,  G11B 5/84 C

Fターム (14件)：

2G051AA32 ,  2G051AB07 ,  2G051AB12 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CD04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  5D112AA07 ,  5D112CC09 ,  5D112JJ03