特許
J-GLOBAL ID:200903060567007357
X線反射鏡製作方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-195064
公開番号(公開出願番号):特開平6-034798
出願日: 1992年07月22日
公開日(公表日): 1994年02月10日
要約:
【要約】【目的】反射面の面粗さが少ない、かつ高い形状精度,反射率を有するX線反射鏡を製作する方法を提供する。【構成】加熱圧着法などにより製作された、金型の形状を転写したレプリカ1と金型2との間に、樹脂3を流し込む。樹脂3の硬化後、金型2を外すことにより反射鏡レプリカを製作する。【効果】反射面の面粗さが少ない、かつ高い形状精度,反射率を有するX線反射鏡を容易に製作することができる。
請求項(抜粋):
第1の金型からレプリカを製作し、前記レプリカ上に第2の金型を用いて新たにX線反射面を形成することを特徴とするX線反射鏡製作方法。
IPC (2件):
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