傾斜角測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-052286
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256647
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】傾斜角測定装置を構成する光学系等の配置が温度変化等によってずれた場合でも測定誤差が発生しないようにする。【構成】コリメータレンズ3と液面6aとの間の光路中にハーフミラー5を設け、ハーフミラー5で反射した光束を基準光束LO として受光素子9上に集光させる。またハーフミラー5を透過した光束を測定用光束LP として受光素子9上に集光させ、基準光束LO の集光位置に対する測定用光束LP の集光位置の変位量から傾斜角を求める。【効果】基準光束LO の集光位置と測定用光束LP の集光位置との関係は、装置を構成する光学系等の配置がずれても変化しない。

請求項（抜粋）：

光源からの光束を第1の光学系を介してほぼ平行な光束として液面に照射し、該液面で反射した前記光束を第2の光学系を介して受光手段上に集光し、該受光手段上の前記光束の集光位置を検出することによって、前記液面に照射される光束の光軸の前記液面に対する傾斜角を測定する傾斜角測定装置において、前記第1の光学系と前記液面との間の光路中に光路分割手段を設け、前記光束のうち前記光路分割手段で分割された一方の光束を基準光束として前記第2の光学系を介して前記受光手段上に集光し、前記光束のうち前記光路分割手段で分割された他方の光束を測定用光束として前記液面で反射させ、該反射した光束を前記第2の光学系を介して前記受光手段上に集光し、前記受光手段上での前記基準光束の集光位置に対する前記測定用光束の集光位置の変位量に基づいて、前記傾斜角を求めることを特徴とする傾斜角測定装置。

IPC (2件)：

G01C 9/06 , G01C 9/20

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-262034
特公昭49-005526

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