酸化亜鉛膜の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：三枝英二 (外5名) , 三枝英二 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-067394
公開番号（公開出願番号）：特開平8-260175
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】大規模装置を必要とせず、大面積および複雑形状の基材上にも、膜厚および組成が均一で、光学的透明性と電気伝導性の両方に優れた酸化亜鉛膜を簡単に製造できる方法を提供する。【構成】(1)亜鉛イオン及び硝酸イオンを含有する水溶液中で、-0.5V〜-2.0V(Ag/AgCl電極基準)の範囲の陰極電位で予備電解した後、-0.2V〜-1.9V(Ag/AgCl電極基準)の範囲の陰極電位であって予備電解の電位より高い電位で電解する。(2)亜鉛イオン及び硝酸イオンを含有する水溶液に、アルミニウム塩、リチウム塩、インジウム塩及びボラン-アミンコンプレックスの少なくとも一種の化合物を添加してなる電解液中で、電解を行なう。

請求項（抜粋）：

亜鉛イオン及び硝酸イオンを含有する水溶液中で、-0.5V〜-2.0V(Ag/AgCl電極基準)の範囲の陰極電位で予備電解した後、-0.2V〜-1.9V(Ag/AgCl電極基準)の範囲の陰極電位であって予備電解の電位より高い電位で電解することを特徴とする酸化亜鉛膜の製造方法。

IPC (3件)：

C25B 1/00 , C23C 28/04 , C25D 9/08

FI (3件)：

C25B 1/00 A , C23C 28/04 , C25D 9/08

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