特許
J-GLOBAL ID：200903060577001420
熱依存性検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-260063
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122107
出願日： 1994年10月25日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 発熱又は感温材料の周囲の雰囲気を強制的に対流させ、もって、発熱,感温材料の応答特性を改善する。【構成】 空洞2を有する基板1と、該空洞2の上部に片持梁式に延長されたカンチレバー11と、該カンチレバー11上に配設された発熱又は感温部材4とを有し、該発熱又は感温部材4に電流を流して該発熱又は感温部材4の抵抗値を検出し、その抵抗値より周囲雰囲気の物理量を検出する。カンチレバー11は熱膨張率の異なる少なくとも2層3,5によって構成されており、発熱又は感温部材4に電流を流すことにより、カンチレバー11が矢印A方向に変位し、該発熱又は感温部材の周囲に対流を発生し、発熱又は感温部材4の温度を周囲の温度になじませる。
請求項（抜粋）：
空洞を有する基板と、該空洞の上部に片持梁式に延長されたカンチレバーと、該カンチレバー上に配設された発熱及び/又は感温部材とを有し、該発熱及び/又は感温部材に電流を流して該発熱及び/又は感温部材の抵抗値を検出し、その抵抗値より周囲雰囲気の物理量を検出する熱依存性検出装置において、前記カンチレバーが熱膨張率の異なる少なくとも2層によって構成されていることを特徴とする熱依存性検出装置。
IPC (6件)：
G01D 21/00
, G01J 1/02
, G01K 7/16
, G01N 25/00
, G01N 27/18
, H01L 31/02
