特許
J-GLOBAL ID：200903060577935074
走査型トンネル顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-245614
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103989
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 試料表面の測定画像の劣化等が始まる前に探針を自動的に交換できる走査型トンネル顕微鏡を提供する。【構成】 XYZステージ6により試料8aの粗動が完了した状態で、トンネル電流検手段手段1によって探針3eと試料8aの間に流れるトンネル電流が検出され、制御手段2はこの検出されたトンネル電流の信号を一定時間取り込み、その信号の状態から探針3eの良否を判断する。制御手段2は探針3eが不良であると判断した場合、ドライバ2’を介して探針交換手段3のモータ3aを駆動しカートリッジ3cを回転させることにより、他の探針を試料8a上に移動させる。
請求項（抜粋）：
試料とこれに対向配置した探針との間に電圧を印加し、両者間に流れるトンネル電流が一定になるよう探針又は試料を走査することにより、試料表面の形状を原子レベルの分解能で観察する走査型トンネル顕微鏡において、前記トンネル電流を検出するトンネル電流検出手段と、このトンネル電流検出手段により検出されたトンネル電流値から前記探針の良否を判断する制御手段と、この制御手段により前記探針が不良と判断された場合にこの不良と判断された探針を別の探針と交換する探針交換手段と、を備えたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
