特許

J-GLOBAL ID：200903060584581920

X線発生装置

発明者： 近藤 洋行 ,  神高 典明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-068918
公開番号（公開出願番号）：特開平7-253499
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 標的部材の交換作業性を向上させ、長時間連続的にX線を発生させることができるX線発生装置を得ること、真空容器の小型化が可能であり、低コストで作成できるX線発生装置を提供する。【構成】 真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマ領域を形成させ、このプラズマ領域から生成されるX線を取り出すX線発生装置であって、真空容器に標的部材の導入部を設け、真空容器内の被照射位置に真空容器の外部から標的部材を導入させる標的供給手段と、標的部材を導入させる際の真空容器内部の実質的な真空状態を保持する真空保持手段とを備えた。

請求項（抜粋）：

真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマ領域を形成させ、このプラズマ領域から生成されるX線を取り出すX線発生装置であって、前記真空容器の外部から前記真空容器内部の予め定めた位置に、前記標的部材を導入させる標的供給手段を備え、前記真空容器は、前記標的部材を内部に導入させるための導入部と、外部から前記標的部材を導入させる際の前記真空容器内部の実質的な真空状態を保持する第一の真空保持手段と、が設けられていることを特徴とするX線発生装置。

IPC (3件)：

G21K 5/08 ,  H01J 35/00 ,  H05G 2/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-153936
  
• 特開昭64-006349
  
• X線発生方法およびX線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-051866   出願人：株式会社ニコン
• 特開平1-137543