フォトマスク識別装置およびフォトマスク識別方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-268777
公開番号（公開出願番号）：特開2000-099619
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】反射率の異なる遮光材料を用いたレチクルに対し、バーコードの読み取りを行うことが可能であるフォトマスク識別装置およびフォトマスク識別方法を提供する。【解決手段】フォトマスクのパターン描画領域の周辺部に形成されたバーコードを認識し、フォトマスクを識別するフォトマスク識別装置において、前記バーコードを二次元の明視野像として認識する光検出装置と、前記光検出装置で得られる検出信号に画像処理を行い、一次元のバーコード波形に変換する画像処理装置とを有するフォトマスク識別装置およびこれを用いたフォトマスク識別方法。

請求項（抜粋）：

フォトマスクのパターン描画領域の周辺部に形成されたバーコードを認識し、フォトマスクを識別するフォトマスク識別装置において、前記バーコードを二次元の明視野像として認識する光検出装置と、前記光検出装置で得られる検出信号に画像処理を行い、一次元のバーコード波形に変換する画像処理装置とを有するフォトマスク識別装置。

IPC (4件)：

G06K 7/10 , G03F 1/08 , G06K 7/00 , H01L 21/027

FI (6件)：

G06K 7/10 R , G06K 7/10 W , G03F 1/08 R , G06K 7/00 U , G06K 7/00 F , H01L 21/30 502 P

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