特許
J-GLOBAL ID：200903060595281375
ウェーハ収納容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-051130
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251422
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 容器内に導入するガスの流量を増しても、該容器内に収納されるウェーハにパーティクルが生じる虞がなく、したがって、容器内のガスの置換時間を短縮することのできるウェーハ収納容器を提供する。【解決手段】 箱状の容器本体2に、ウェーハ3を保持するための溝部6aが複数本形成されるとともに、容器本体2にガスを導入するためのガス導入用流路12及び内部のガスを外部に排出するためのガス排出用流路が形成されたウェーハ収納容器において、溝部6a、6a、...各々に、ガス導入用流路12および/またはガス排出用流路に連通する穴13を形成したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
箱状の容器本体に、ウェーハを保持するための溝部が複数本形成されるとともに、前記容器本体に外部よりガスを導入するためのガス導入用流路及び内部のガスを外部に排出するためのガス排出用流路が形成されたウェーハ収納容器において、前記溝部各々に、前記ガス導入用流路および/またはガス排出用流路に連通する穴が形成されていることを特徴とするウェーハ収納容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 V
, B65D 85/38 R
