特許

J-GLOBAL ID：200903060595397233

垂直作動型プローブカード

発明者： 根布谷 俊介 ,  大久保 昌男 ,  坂田 輝久 ,  松岡 敬二
出願人/特許権者： 日本電子材料株式会社 ,  株式会社東芝 ,  東芝マイクロエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294908
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113537
出願日： 1995年10月17日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【目的】 高速動作試験に適し、かつ基板の機械的強度に問題がないようにする。【構成】 測定対象物であるLSIチップ610の電気的諸特性を測定するプローブカードであって、先端の接触部110がLSIチップ610の電極パッド611に接触するプローブ100と、プローブ100を垂直方向にのみ移動可能に支持する支持部200と、プローブ100の後端の接続部120と電気的に接続される導電パターンを有する基板300とを備え、プローブ100は接触すべき電極パッド611の真上に相当する位置で基板300の導電パターンに接続され、基板300は特性インピーダンス整合が施されている。

請求項（抜粋）：

測定対象物の電気的諸特性を測定するプローブカードにおいて、先端の接触部が測定対象物の電極パッドに接触するプローブと、このプローブを垂直方向にのみ移動可能に支持する支持部と、前記プローブの後端の接続部と電気的に接続される導電パターンを有する基板とを具備しており、前記プローブは接触すべき電極パッドの真上に相当する位置で基板の導電パターンに接続され、前記基板は特性インピーダンス整合が施されていることを特徴とする垂直作動型プローブカード。

IPC (4件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/067 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/073 E ,  G01R 1/067 C ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-193338   出願人：株式会社ヨコオ, 東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社