サンプルの偏差を検出するためのシングルレーザ明視野及び暗視野装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山崎行造 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-532043
公開番号（公開出願番号）：特表2000-506275
出願日： 1997年03月05日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：

【要約】単一のレーザーを用いて暗視野及び明視野検出のために光を提供する。レーザービームは、ウォルストンプリズムによって2つのビームに分割され、両方のビームは、検査すべきサンプルに向けて指向されてそのサンプルの2つの領域を照射する。サンプルの2つのスポットから反射された光又はそのサンプルの2つのスポットを通過して伝達された光は、同一の又は異なるウォルストンプリズムによって結合され、サンプルの偏差によって生じた位相差は、明視野検出器によつて2つのビームの間の位相差として検出される。サンプルの2つのスポットから分散された光は暗視野検出器によって検出される。半波長板を用いてレーザー入射からの光の偏光面をウォルストンプリズムに指向して、サンプルへの2つのビーム入射の一方が他方よりも大きな強度を有するようにし、さらに、暗視野の感度及び検出操作は、サンプル上の2つの照射されたスポットの存在によっては変更されない。

請求項（抜粋）：

サンプルの偏差を検出する装置であって、前記サンプルに2つのほぼ平行な光入射ビームを伝達する手段であって、前記ビームは最初はコヒーレントであるが異なる偏光を持つ手段と、前記2つの入射ビームからの前記サンプルによって分散された光を検出する少なくとも1つの暗視野検出器と、前記2つの入射ビームの透過した部分又は前記サンプルによって前記2つの入射ビームの反射された部分の間の位相差を検出する明視野検出器とを備える装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭61-198008
特開昭61-260211
特開平4-232442

審査官引用 (3件)

特開昭61-198008
特開昭61-260211
特開平4-232442

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