特許
J-GLOBAL ID:200903060601400950

イオン発生量制御方法及びイオナイザー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田中 正男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-334445
公開番号(公開出願番号):特開2005-100870
出願日: 2003年09月25日
公開日(公表日): 2005年04月14日
要約:
【課題】 正負イオン量の発生を制御し、吹き付け点付近でもイオンバランスがとれるようにする。 【解決手段】 コロナ放電により放電電極が発生する正及び/又は負イオンが送風される方向に、少なくとも2つのイオンセンサーを設け、前記2つのイオンセンサーに誘起される電圧値、又は電流値である情報の差分値を求め、ここで得られた差分値により前記放電電極に印加する電圧、あるいは直流電圧のパルス幅、又は印加周期を制御し、イオンの発生量を制御する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
放電電極が発生する正及び/又は負イオンが送風される方向に、少なくとも2つのイオンセンサーを設け、前記少なくとも2つのイオンセンサーから得られる差分情報により前記放電電極に印加する電圧を制御し、イオンの発生量を制御することを特徴とするイオン発生量制御方法。
IPC (5件):
H01T23/00 ,  B03C3/02 ,  B03C3/40 ,  B03C3/68 ,  H01T19/04
FI (5件):
H01T23/00 ,  B03C3/02 A ,  B03C3/40 C ,  B03C3/68 Z ,  H01T19/04
Fターム (13件):
4D054AA20 ,  4D054BA19 ,  4D054BB04 ,  4D054CA01 ,  4D054CA11 ,  4D054CA18 ,  4D054CA19 ,  4D054EA01 ,  4D054EA11 ,  5G067AA41 ,  5G067DA01 ,  5G067DA19 ,  5G067DA21
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)
  • 交流式イオナイザ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-125814   出願人:ヒューグルエレクトロニクス株式会社
  • 基板処理装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-229980   出願人:大日本スクリーン製造株式会社

前のページに戻る