特許

J-GLOBAL ID：200903060601732414

光導波路

発明者： 寺尾 芳孝
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-073999
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255425
出願日： 2000年03月13日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 低コストかつ屈折率制御が容易で,応用性の広い光導波路を提供すること。【解決手段】 下部クラッド69となる石英基板上に,有機および無機ハイブリッド膜をスピンコート法と乾燥を繰り返して塗布し,屈折率が下部クラッド69とほぼ同様なコア層67を形成する。その後,コアとする部分のみ光が透過するようにスペースを設け,他はCr等で遮光されたマスク63をコア層67上に配置し,UVレーザ61を照射すると,照射された部分のみ屈折率が変化し,コア65となる。さらにコア層67上に,コア層67と同様に有機および無機ハイブリッド膜を塗布して上部クラッド71とし,光導波路が完成する。なお,UVレーザ61の照射時間,および強度を変化させると,屈折率の変化を制御できる。

請求項（抜粋）：

導波路の組成を有機および無機ハイブリッド膜とし,前記無機成分を,テトラエトキシシラン,テトラエトキシシランの縮重合体,テトラメトキシシラン,およびテトラメトキシシランの縮重合体より構成されたグループから選択されたいずれか一つの物質,または,前記グループから選択された複数の物質の混合物とし,前記有機成分を,アクリル樹脂とし,UV光を照射することにより,前記有機および無機ハイブリッド膜の屈折率を上昇させることを特徴とする光導波路。

IPC (4件)：

G02B 6/12 ,  C08J 7/00 304 ,  G02B 6/13 ,  G02B 6/122

FI (4件)：

C08J 7/00 304 ,  G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 A

Fターム (15件)：

2H047KA04 ,  2H047KA08 ,  2H047KA13 ,  2H047LA02 ,  2H047PA11 ,  2H047PA21 ,  2H047PA28 ,  2H047QA01 ,  2H047QA05 ,  2H047TA43 ,  4F073AA14 ,  4F073BA18 ,  4F073BB03 ,  4F073CA46 ,  4F073HA12