特許
J-GLOBAL ID：200903060603827056
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-089311
公開番号（公開出願番号）：特開平6-283594
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 サセプタと載置部材が熱により、それぞれ膨張または収縮し、長さの差が生じても、サセプタと接合部材との間及び載置部材と接合部材との間のそれぞれの接合部が剥離するのを防止することができる静電チャックを提供する。【構成】 サセプタ10の載置面に被吸着体2を静電気力で吸着保持するための静電チャック9において、前記被吸着体2を載置する前記サセプタ10と熱膨張率の異なる載置部材31と、この載置部材31と前記サセプタ10間を接着接合する接合部材20とを備え、この接合部材20の厚みは前記サセプタ10と前記載置部材31との熱膨張又は熱収縮長の差値と略同一又はその値以上の伸びを有する弾性体で構成したものである。
請求項（抜粋）：
サセプタの載置面に被吸着体を静電気力で吸着保持するための静電チャックにおいて、前記被吸着体を載置する前記サセプタと熱膨張率の異なる載置部材と、この載置部材と前記サセプタ間を接着接合する接合部材とを備え、この接合部材の厚みは前記サセプタと前記載置部材との熱膨張又は熱収縮長の差値と略同一又はその値以上の伸びを有する弾性体で構成したことを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H02N 13/00
, H01L 21/302
