特許

J-GLOBAL ID：200903060612186462

炉内温度監視装置

発明者： 中園 文也 ,  永谷 浩
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-292132
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142417
出願日： 1993年11月22日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 炉内温度が基本温度プロファイルの許容温度範囲から外れたことを直ちに知ることができると共に、実際の炉内温度の履歴を知ることのできる炉内温度監視装置を提案する。【構成】 炉内温度プロファイルが記憶された第1の記憶手段8M3と、炉内温度検出器2と、その炉内温度検出器2よりの検出温度を、第1の記憶手段8M3に記憶されている炉内温度プロファイルと比較し、その温度差が許容温度範囲外か否かを判別する温度比較手段8Cと、その温度比較手段8Cの比較結果が許容温度範囲外のとき警報を発生する警報発生手段6と、炉内温度検出器2によって検出された検出温度の履歴を記憶する第2記憶手段8M3とを有する。

請求項（抜粋）：

炉内温度プロファイルが記憶された第1の記憶手段と、炉内温度検出器と、該炉内温度検出器よりの検出温度を、上記第1の記憶手段に記憶されている上記炉内温度プロファイルと比較し、その温度差が許容温度範囲外か否かを判別する温度比較手段と、該温度比較手段の比較結果が上記許容温度範囲外のとき警報を発生する警報発生手段と、上記炉内温度検出器によって検出された検出温度の履歴を記憶する第2記憶手段とを有することを特徴とする炉内温度監視装置。

IPC (5件)：

H01L 21/22 501 ,  F27D 21/00 ,  F27D 21/04 ,  G01K 1/02 ,  G01K 7/00 381