特許
J-GLOBAL ID：200903060615875439
新規なレジスト材料
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-362836
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148940
出願日： 1990年08月01日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 i線光や、遠紫外光、例えばKrFエキシマレーザ光等により高感度(低露光エネルギー量)で効率よく酸を発生し、且つ溶液中で安定で、しかも光反応による生成物が現状用いられている現像液に溶解可能な感光性化合物を含んで成るレジスト材料の提供。【解決手段】 露光により酸を発生する特定の感光性化合物と、生成した酸で化学変化を受けてアルカリ可溶性になる特定の溶解阻害化合物と、アルカリ可溶性樹脂及びこれら三者を溶解可能な溶剤とから成るレジスト材料。
請求項（抜粋）：
露光により酸を発生する感光性化合物と、フェノール性OH基を有し、そのフェノール性OH基が、tert-ブチル基、tert-ブトキシカルボニル基、シクロアルキル基、アルキル置換シリル基、ハロアルキル基及び直鎖状又は分枝状アルキルオキシカルボニル基から選ばれた基で保護された、生成した酸で化学変化を受けてアルカリ可溶性になる溶解阻害化合物と、アルカリ可溶性樹脂及びこれら三者を溶解可能な溶剤とから成るレジスト材料に於いて、露光により酸を発生する感光性化合物として下記一般式[I]、[II]又は[V]で示される化合物のいずれかを用いることを特徴とするレジスト材料。【化1】[式中、R1、R2、R3は夫々独立して水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基、炭素数1〜10のハロアルキル基、-OR6(但し、R6は炭素数1〜10の直鎖状又は分枝状のアルキル基、炭素数1〜10のアルキル置換シリル基、テトラヒドロピラニル基、テトラヒドロフラニル基、炭素数1〜10のハロアルキル基、炭素数2〜20のアルコキシアルキル基、炭素数2〜11の直鎖状又は分枝状のアルキルオキシカルボニル基を表す。)、ニトロ基、ニトリル基、アミド基又は-COOR7基(但し、R7は炭素数1〜10の直鎖状又は分枝状のアルキル基を表す。)を表し、R4、R5は夫々独立して水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基、炭素数1〜10のハロアルキル基、-OR8(但し、R8は炭素数1〜10の直鎖状又は分枝状のアルキル基を表す。)、ニトロ基又はニトリル基を表し、Xは炭素原子、フェニル基又はナフチル基を表し、nは0〜3の整数を表す。]【化2】[式中、R9、R10、R11は夫々独立して水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基、炭素数1〜10のハロアルキル基、-OR15(但し、R15は炭素数1〜10の直鎖状又は分枝状のアルキル基、炭素数1〜10のアルキル置換シリル基、テトラヒドロピラニル基、テトラヒドロフラニル基、炭素数1〜10のハロアルキル基、炭素数2〜20のアルコキシアルキル基、炭素数2〜11の直鎖状又は分枝状のアルキルオキシカルボニル基を表す。)、ニトロ基、ニトリル基、アミド基又は-COOR16基(但し、R16は炭素数1〜10の直鎖状又は分枝状のアルキル基を表す。)を表し、R12、R13、R14は夫々独立して水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基、炭素数1〜10のハロアルキル基、-OR17(但し、R17は炭素数1〜10の直鎖状又は分枝状のアルキル基を表す。)、ニトロ基又はニトリル基を表し、mは1〜4の整数を表す。]【化3】[式中、R33、R34、R35、R36は夫々独立して水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基、炭素数1〜10のハロアルキル基、炭素数1〜10の直鎖状又は分枝状のアルコキシ基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数7〜10のアラルキル基、フェニル基、置換フェニル基(置換基は、ハロゲン原子、炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基、炭素数1〜10のハロアルキル基、炭素数1〜10の直鎖状又は分枝状のアルコキシ基、ニトロ基、ニトリル基又はアミド基。)を表す。また、R33とR34、R34とR35及びR35とR36は夫々独立して、互いに結合して脂環、ヘテロ脂環、芳香環又はヘテロ芳香環を形成していても良い。]
IPC (4件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
