特許

J-GLOBAL ID：200903060620273609

処理システム

発明者： 飽本 正巳
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-279387
公開番号（公開出願番号）：特開平11-168130
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】[課題] カセットステーションの占有スペースを縮小して、カセットステーションの小型化ひいてはシステム全体の小型化を実現する。[解決手段] カセットステーション30において、奥行方向(X方向)の中心部で処理ステーション10の搬送路14の延長上の位置に、昇降移動可能かつ回転移動可能に構成されたウエハ搬送機構32が設けられるとともに、このウエハ搬送機構32を間に挟んで両側にウエハカセットを載置するための4つのカセット載置台34,36,38,40がX方向に一列に設けられている。これらのカセット載置台34〜40のうち、外側の2つのカセット載置台34,40はカセット移送機構により所定のルートを水平方向および垂直方向に移動して内側のカセット載置台36,38に対して水平方向(X方向)に並ぶ第1の位置と垂直方向(Z方向)に並ぶ第2の位置との間で移動できるようになっている。

請求項（抜粋）：

1つまたは複数の枚葉式処理装置を含む処理ステーションと、前記処理ステーションの一側面に隣接して設けられ、複数の板状の被処理体を多段に収容するカセットを所定の位置に配置し、前記処理ステーションで処理を受けるべき前記被処理体を1枚ずついずれかの前記カセットから取り出して前記処理ステーションへ渡し、処理の済んだ前記被処理体を1枚ずつ前記処理ステーションから受け取っていずれかの前記カセットに戻すためのカセットステーションと、前記カセットステーションに設けられ、前記カセットの搬入または搬出のための第1の所定位置を含む所定のルートで前記カセットを水平方向および垂直方向に移送し、前記ルート内の第2の所定位置で少なくとも2つの前記カセットを垂直方向に隣合わせるカセット移送手段と、前記カセットステーションに設けられ、前記ルート内の第3の所定位置に配置された前記カセットにアクセスして前記被処理体の取り出しまたは収納を行う被処理体搬送手段とを具備する処理システム。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 535

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 535

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平3-048439
  
• 特開平4-321253
  
• 処理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-062905   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

審査官引用 (3件)

• 処理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-062905   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開平3-048439
  
• 特開平4-321253