特許

J-GLOBAL ID：200903060624196935

誘電体バリアエキシマランプ

発明者： 木暮 靖男 ,  小林 紀雄 ,  平塚 克己 ,  天野 覺
出願人/特許権者： ホーヤ・ショット株式会社
代理人 (1件)： 遠藤 恭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338817
公開番号（公開出願番号）：特開2001-155684
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 エキシマランプに投入する電力に対する紫外線の放射効率を改善する。【解決手段】 本発明は、内筒管と透光性のある外筒管の間の空間にエキシマガス等の放電用ガスを封入してなる二重管12と、二重管12を収容し、少なくとも該二重管の径方向における一方側を開放したケース体11と、ケース体11の開放された領域に固定された外部電極14を備える。外部電極14は、二重管12の一方側における外筒管の外面側に近接配置される網目状の領域を含む。本発明はまた、外部電極14が近接配置された領域に対応する内筒管の内面側に配置される内部電極13を備える。上記外部電極14と内部電極13間に電圧を印加することにより、上記網目状の外部電極の間から紫外線が放射される。

請求項（抜粋）：

内筒管と透光性のある外筒管の間の空間に放電用ガスを封入してなる誘電体の二重管と、上記二重管を収容し、少なくとも該二重管の径方向における一方側を開放したケース体と、上記ケース体の開放された領域に固定された外部電極であって、上記二重管の一方側における上記外筒管の外面側に近接配置される網目状の領域を含むものと、少なくとも上記外部電極が近接配置された上記外筒管の面の領域に対応する上記内筒管の内面側に配置される内部電極と、を備え、上記外部電極と内部電極間に電圧を印加することにより、上記網目状の外部電極の間から紫外線を放射する誘電体バリアエキシマランプ。