特許
J-GLOBAL ID：200903060626086355
マイクロメカニカルな静電リレー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-268714
公開番号（公開出願番号）：特開平8-227647
出願日： 1995年10月17日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【課題】 可動子ばね舌片において、不所望の横方向の湾曲を回避し、しかも全体的に見た場合、最適な切換特性が得られるように湾曲領域を区分毎に生ぜしめる。【解決手段】 機械的な応力を生ぜしめる層41が可動子ばね舌片で、所望の湾曲方向に対して直交方向に延びる平行な各スリット21によって、ストリップ22に分割されている。
請求項（抜粋）：
マイクロメカニカルな静電リレーであって、(イ)ベース電極層(11)とベースコンタクト片(13)とを支持するベース基板(10)と、該ベース基板(10)上に設けられた可動子基板(1)とが設けられており、該可動子基板には片側で結合された可動子ばね舌片(2)が露出するように加工されており、該可動子ばね舌片が、可動子電極層(5)と、可動子ばね舌片の端部の近くに可動子コンタクト片(7)とを支持しており、(ロ)可動子ばね舌片(2)が少なくとも1つの層(4)を支持しており、該層が、基板材料に対して機械的な応力を生ぜしめて、可動子ばね舌片(2)が静止状態では定常の湾曲によってベース基板(10)から離反する方向に撓んでいて、作業状態では両電極層(5,11)相互間に制御電圧が印加することによってベース基板(10)に密着するようになっており、ベースコンタクト片(13)と可動子コンタクト片(7)とが互いに上下に位置している形式のものにおいて、(ハ)機械的な応力を生ぜしめる層(4;41)が可動子ばね舌片で、所望の湾曲方向に対して直交方向に延びる平行な各スリット(21;23)によって、ストリップ(22)に分割されていることを特徴とする、マイクロメカニカルな静電リレー。
IPC (2件)：
H01H 59/00
, H01L 21/3065
H01H 59/00
, H01L 21/302 J
