特許

J-GLOBAL ID：200903060628928949

基板貼り合わせ装置

発明者： 中塚 守
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-210502
公開番号（公開出願番号）：特開2002-023130
出願日： 2000年07月11日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】液晶パネルに使用される一対のガラス基板を、破損させることなく、仮固定するとともに、所定のギャップに貼り合わせる。【解決手段】上定盤33の下面にガラス基板70が保持され、下定盤22の上面にガラス基板80が保持される。その後、上定盤33を下降させて、上定盤33と下定盤22との間に第1の密閉空間50を形成する。このような状態で、第1の密閉空間50と、上定盤33の上方に形成された第2の密閉空間60とをそれぞれ真空にして、押圧シリンダ35によって上定盤33を更に下降させ、ガラス基板70および80を接触させる。その後、第2の密閉空間60に空気を徐々に注入し、第1の密閉空間50との圧力差によって上定盤33を下降させて、ガラス基板70および80を加圧する。ガラス基板70および80間に所定のギャップが形成されるとガラス基板70および80が仮固定される。

請求項（抜粋）：

一対の基板を相互に対向した状態で保持するように、相互に対向した状態でそれぞれ配置された第1および第2の定盤と、該第2の定盤に保持された基板が、該第1の基板に対して対して接離するように、しかも、前記第1の定盤に保持された基板に対して傾斜可能に、該第2の定盤を保持するベース部材と、前記第2の定盤に設けられた基板が前記第1の定盤に設けられた基板に対して接触するように、該第2の定盤を前記ベース部材に対して移動させる手段と、該ベース部材を、前記第1の定盤に対して接離させる方向へ移動させる手段と、前記第1の定盤と第2の定盤との間にて、前記各基板を取り囲む第1の密閉空間を形成する第1のシール手段と、前記第1密閉空間との圧力差によって、前記第2の定盤が、第1の定盤に対して押圧されるように、前記ベース部材の周囲または前記ベース部材と第2の定盤との間に第2の密閉空間を形成する第2のシール手段と、前記第1および第2の密閉空間において、圧力差を形成する手段と、を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。

IPC (5件)：

G02F 1/13 101 ,  C03C 27/06 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1339 505 ,  G09F 9/00 338

FI (5件)：

G02F 1/13 101 ,  C03C 27/06 101 C ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1339 505 ,  G09F 9/00 338

Fターム (33件)：

2H088FA03 ,  2H088FA04 ,  2H088FA16 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA08 ,  2H088MA20 ,  2H089NA48 ,  2H089NA51 ,  2H089NA60 ,  2H089QA12 ,  2H089QA14 ,  2H089TA01 ,  2H089TA07 ,  2H090JB02 ,  2H090JB03 ,  2H090LA03 ,  2H090LA04 ,  4G061AA09 ,  4G061BA05 ,  4G061CB04 ,  4G061CB16 ,  4G061CD02 ,  4G061CD16 ,  4G061DA23 ,  4G061DA36 ,  4G061DA43 ,  4G061DA61 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435EE33 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10