特許

J-GLOBAL ID：200903060629640892

X線放射線または極紫外線放射線を発生するための方法および装置

発明者： ハンス エム.ヘルツ ,  ラルス、マルムクビスト ,  ラルス、リメル ,  マグヌス、ベルグルンド
出願人/特許権者： ジェテック、アクチボラグ
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-538003
公開番号（公開出願番号）：特表2000-509190
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】レーザプラズマ放射によりX線放射線または極紫外線放射線を発生するための方法であって、少なくとも1つのターゲット(17)をチャンバ内で発生させるとともに、少なくとも1つのパルスレーザビーム(3)をチャンバ内でターゲット(17)に集光させる方法を提供する。ターゲットは液体の噴流(17)の形態で発生し、レーザビーム(3)は噴流(17)の空間的に連続した部分に集光される。上記方法に従ってレーザプラズマ放射によりX線放射線または極紫外線放射線を発生するための装置は、少なくとも1つのレーザビーム(3)を発生するための手段と、チャンバと、少なくとも1つのターゲット(17)をチャンバ内で発生するための手段(10)と、レーザビーム(3)をチャンバ内でターゲット(17)に集光させるための手段(13)とを含む。ターゲット発生手段(10)は、液体の噴流(17)を発生する。集光手段(13)は、レーザビーム(3)を噴流(17)の空間的に連続した部分に集光させる。

請求項（抜粋）：

レーザプラズマ放射によりX線放射線または極紫外線放射線を発生するための方法であって、少なくとも1つのターゲット(17)を発生させるとともに、少なくとも1つのパルスレーザビーム(3)を前記ターゲット(17)に集光させる方法において、 前記ターゲットは液体の噴流(17)の形態で発生し、前記レーザビーム(3)は前記噴流(17)の空間的に連続した部分に集光されることを特徴とする方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-267895
  
• 特開昭64-006349