特許

J-GLOBAL ID：200903060634075249

弾性表面波デバイス

発明者： 井戸 祥隆
出願人/特許権者： 東洋通信機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-177617
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007674
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 高耐電力特性を有するSAWデバイスを得る。【解決手段】 圧電基板上にアルミニウム膜とアルミニウム酸化膜とを交互に複数層積層し、該膜をIDT電極、グレーティング反射器に形成したする。

請求項（抜粋）：

圧電基板上にアルミニウム膜とアルミニウム酸化膜とを交互に複数層積層し、該膜をIDT電極、グレーティング反射器に形成したことを特徴とする弾性表面波デバイス。

IPC (3件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25

FI (3件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 C

Fターム (7件)：

5J097AA26 ,  5J097AA31 ,  5J097DD01 ,  5J097DD14 ,  5J097FF03 ,  5J097HA02 ,  5J097KK09