特許
J-GLOBAL ID：200903060634167259
露光素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-063265
公開番号（公開出願番号）：特開平11-254752
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：
【要約】【課題】 装置コストの増大するレーザ光を用いず、高速なデジタルマルチ露光が可能で、しかも、アレイ化が容易で且つ駆動電圧の低い露光素子を得る。【解決手段】 紫外線の平面光源上に、電気機械動作により平面光源からの光を光変調する一次元又は二次元マトリクス状の光変調部14を配設する。この光変調部14は、導光板1と、導光板上に設けた透明な信号電極3と、信号電極3に空隙11を挟んで対向する透明な可撓薄膜9と、可撓薄膜9に設けられ信号電極3に対向する走査電極13とを具備し、信号電極3と走査電極13とに電界を印加することで発生したクーロン力によって可撓薄膜9を撓ませ可撓薄膜9を透過して出射する光を変調させるものとすることができる。
請求項（抜粋）：
紫外線の平面光源上に、電気機械動作により該平面光源からの光を光変調する一次元又は二次元マトリクス状の光変調部を配設したことを特徴とする露光素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/21 Z
, G03B 27/32 Z
