レーザーダイシング用粘着テープ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯田敏三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-120864
公開番号（公開出願番号）：特開2003-034780
出願日： 2002年04月23日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：

【要約】【課題】シリコンウェハ、セラミック、ガラスや金属などをウォータージェットとともにレーザーで切断分離(ダイシング)する際に溶融せず、かつ破断せず、素子の飛びがなく、伸展可能であり、伸展時に材料が整直性を維持するレーザーダイシング用粘着テープを提供する。【解決手段】レーザーがウォータージェットでガイドされるレーザーダイシングに用いる粘着テープであって、該テープの基材の片面上に、非放射線硬化型粘着剤層および放射線硬化型粘着剤層を有してなり、基材が前記ウォータージェットのジェット水流を透過しうるものであり、かつ、非放射線硬化型粘着剤層が基材と放射線硬化型粘着剤層の間に設けられているレーザーダイシング用粘着テープ。

請求項（抜粋）：

レーザーがウォータージェットでガイドされるレーザーダイシングに用いる粘着テープであって、該テープの基材の片面上に、非放射線硬化型粘着剤層および放射線硬化型粘着剤層を有してなり、基材が前記ウォータージェットのジェット水流を透過しうるものであり、かつ、非放射線硬化型粘着剤層が基材と放射線硬化型粘着剤層の間に設けられていることを特徴とするレーザーダイシング用粘着テープ。

IPC (4件)：

C09J 7/02 , C09J 4/00 , C09J133/00 , H01L 21/301

FI (5件)：

C09J 7/02 Z , C09J 4/00 , C09J133/00 , H01L 21/78 B , H01L 21/78 M

Fターム (23件)：

4J004AA01 , 4J004AA02 , 4J004AB06 , 4J004BA03 , 4J004CA03 , 4J004CA06 , 4J004CB01 , 4J004CC02 , 4J004FA05 , 4J004FA08 , 4J040DF031 , 4J040FA131 , 4J040FA271 , 4J040FA281 , 4J040FA291 , 4J040GA05 , 4J040GA07 , 4J040GA22 , 4J040JB07 , 4J040KA16 , 4J040KA23 , 4J040MA04 , 4J040NA20

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平2-112258
特表平2-501719
特開昭63-293939

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