特許

J-GLOBAL ID：200903060636909910

セラミック静電ウェーハ・チャック

発明者： マイケル・スコット・バーンズ ,  デニス・キース・コウルタス ,  ジョン・カート・フォースター ,  ジョン・ハワード・ケラー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-260936
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299493
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、広範囲の温度・圧力条件下で動作でき、経済的に製造が可能で、1電位モードでも2電位モードでも使用できる静電チャックを提供することにある。【構成】 本発明によれば、静電力を発生する上部ウェーハ吸着面に隣接する裏面金属層を有する、多層セラミックからなる、半導体ウェーハ用の静電チャックが提供される。中間のバイア層がこのパターンを、電力リードを接続するチャック下面の裏面金属層に接続する。チャックの底部から上面に延びる多数の小さい通路によって、ヘリウムによる熱伝達が可能となり、表面の溝は不要である。

請求項（抜粋）：

チャックの上面に接して半導体ウェーハを保持するための静電チャックにおいて、互いに融着されて支持体を形成する複数の積層板であって、積層板の1つが、上記半導体ウェーハを上記上面に保持するための静電力を発生するための裏面金属電極パターンを有し、積層板の他の1つが、上記支持体の外面に、電源に接続するための裏面金属パターンを有する、複数の積層板と、上記積層板中に形成された、静電力を発生するための上記パターンを、電源に接続するための上記パターンに電気的に接続するための、複数のバイアと、上記積層板中に形成された、上記融着された支持体内で位置合せされて、上記支持体外面から上記上面へと延びる液体冷媒用の通路を形成する、複数の開口とを備える静電チャック。