圧電共振子及びその製造方法等、並びに圧電フィルタ等

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-063045
公開番号（公開出願番号）：特開2003-264445
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】【課題】周波数調整を精度良く行なうことができるとともに、素子の小型化も図ることのできる圧電共振子または圧電フィルタなどを提供する。【解決手段】少なくとも1つの開口部6,7を有する基板1と、開口部6,7上に形成されている、少なくとも1層以上の圧電薄膜を有する薄膜部3の上下面を少なくとも一対の上部電極5および下部電極4を対向させて挟む構造の振動部を主たる構造とする圧電共振子において、開口部6,7の側壁6c,7cは、前記支持部に対して直交ないしほぼ直交する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの開口部を有する基板と、前記開口部上に形成されている、少なくとも1層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極および下部電極を対向させて挟む構造の振動部と、前記基板と前記振動部との間に前記開口部を覆う支持部とを有する圧電共振子において、前記開口部の側壁は、前記支持部に対して直交ないしほぼ直交することを特徴とする圧電共振子。

IPC (8件)：

H03H 9/17 , H01L 41/08 , H01L 41/09 , H01L 41/18 , H01L 41/22 , H03H 3/04 , H03H 9/58 , H03H 9/70

FI (9件)：

H03H 9/17 F , H03H 3/04 B , H03H 9/58 A , H03H 9/70 , H01L 41/08 D , H01L 41/08 U , H01L 41/18 101 Z , H01L 41/22 Z , H01L 41/08 C

Fターム (16件)：

5J108AA02 , 5J108AA07 , 5J108BB05 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108DD02 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108HH04 , 5J108HH06 , 5J108KK01 , 5J108KK05 , 5J108MM08 , 5J108NA04 , 5J108NB01 , 5J108NB05

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