特許
J-GLOBAL ID：200903060641815142
放電プラズマによるガス処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
藤本 博光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-118968
公開番号（公開出願番号）：特開平9-299740
出願日： 1996年05月14日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：
【要約】【課題】 地球温暖化ガス、大気汚染ガスなどの有害ガス、あるいはクリーンルーム等において製品の歩留まりを低下させるようなガス成分を除去する放電プラズマによるガス処理方法を提供する。【解決手段】 燃焼排ガス、クリーンルーム空気、室内空気などに含まれる微量有害ガス成分及び公害ガス成分の除去を行うガス処理方法において、放電プラズマを発生させる電極間に水酸化カルシウム層を充填した反応器20に、除去すべきガス成分を含むガス10を通して、放電プラズマ処理することにより除去すべきガス成分を除去することを特徴とする放電プラズマによるガス処理方法。
請求項（抜粋）：
燃焼排ガス、クリーンルーム空気、室内空気などに含まれる微量有害ガス成分及び公害ガス成分の除去を行うガス処理方法において、放電プラズマを発生させる電極間に水酸化カルシウム層を充填した反応器に、除去すべきガス成分を含むガスを通して、放電プラズマ処理することにより除去すべきガス成分を除去することを特徴とする放電プラズマによるガス処理方法。
IPC (6件)：
B01D 53/32
, B01D 53/34 ZAB
, B01D 53/56
, B01D 53/74
, B01D 53/62
, B01J 19/08
B01D 53/32
, B01J 19/08 E
, B01D 53/34 ZAB
, B01D 53/34 129 C
, B01D 53/34 135 Z
, B01D 53/34 135 A
