特許
J-GLOBAL ID:200903060648675826

連続シート状物体の欠点検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩佐 義幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-137704
公開番号(公開出願番号):特開平8-327561
出願日: 1995年06月05日
公開日(公表日): 1996年12月13日
要約:
【要約】【目的】 ガラス板内の異物,泡およびガラス板表面の傷,凹凸を判別する連続シート状物体の欠点検査装置を提供する。【構成】 ガラス板1の下側に明視野照明装置10,暗視野照明装置11を備え、ガラス板1の上側に、明視野照明装置と対向して1次元ラインセンサカメラ12を、暗視野照明装置と対向して1次元ラインセンサカメラ13を設ける。また、ガラス板の上側に反射照明装置14と、その反射光を受光する1次元ラインセンサカメラ15とを備える。
請求項(抜粋):
光を透過および反射する連続シート状物体に存在する欠点を検査する欠点検査装置において、明視野照明装置と、暗視野照明装置と、反射照明装置とを備えることを特徴とする連続シート状物体の欠点検査装置。
引用特許:
審査官引用 (3件)

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