室内の圧力制御装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：相川守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-107654
公開番号（公開出願番号）：特開2002-304221
出願日： 2001年04月05日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】各室毎に設けられている給気ブロア12、24および排気ブロア16、28の出力が、基準値から大幅にずれないようにする。【解決手段】開口部6aを有する仕切壁6を介して連通された複数の室(アイソレータ)2、4に、それぞれ給気ブロア12、24、排気ブロア16、28、圧力センサ18、30が設けられ、各圧力センサ18、30の検出値に応じて、制御装置20、32がそれぞれの室2、4の排気ブロア16、28の回転数をコントロールして室2、4内の圧力を制御する。通常は、給気ブロア12、24および排気ブロア16、28が、試験等により求めた基準回転数で運転している。各室2、4の内部圧力が変動した場合には、排気ブロア16、28の出力を変更して室2、4内の圧力を所定圧力に制御する。そのときに、変動した圧力値にかかわらず、排気ブロア16、28の回転数を予め設定した範囲内から外れないように制御する。

請求項（抜粋）：

開口部を有する仕切壁を介して連通された複数の室と、これら各室にそれぞれ設けられた給気ブロア、排気ブロアおよび圧力センサと、各圧力センサの検出値によりそれぞれの室の給気ブロアおよび排気ブロアの回転数を制御する制御手段とを備え、前記各室の圧力を所定圧力に制御する室内の圧力制御装置において、前記制御手段は、給気ブロアおよび排気ブロアの前記所定圧力における基準回転数と、圧力の変動によりそれぞれの室のブロアの回転数を変更する際の、基準回転数に対する変更範囲を記憶し、この範囲内でブロアの回転数を制御することを特徴とする室内の圧力制御装置。

IPC (4件)：

G05D 16/20 , F24F 7/007 , F24F 7/06 , A61G 10/02

FI (4件)：

G05D 16/20 D , F24F 7/007 B , F24F 7/06 A , A61G 10/02 C

Fターム (24件)：

3L056BD04 , 3L056BD07 , 3L056BE01 , 3L056BF04 , 3L056BF06 , 3L058BD00 , 3L058BE08 , 3L058BG04 , 4C341KK01 , 4C341KL04 , 4C341KL08 , 5H316AA20 , 5H316BB02 , 5H316CC08 , 5H316CC10 , 5H316DD03 , 5H316EE22 , 5H316ES05 , 5H316FF05 , 5H316GG01 , 5H316GG11 , 5H316GG15 , 5H316HH04 , 5H316HH08

引用特許：

審査官引用 (2件)

室圧制御システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-237509 出願人：株式会社大氣社
クリーンルームにおける排気ガスの排出方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-228765 出願人：日本酸素株式会社

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