特許
J-GLOBAL ID：200903060660422038
高周波出力検出装置および高周波装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-270238
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146320
出願日： 1993年10月28日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で高周波出力に応じた信号を得ることができる高周波装置における高周波出力検出装置を実現する。【構成】 検出器2はカレントトランス15を含む電流信号VIの検出部16と、電圧信号VVの検出部17とから構成されている。この電流信号VIと電圧信号VVとの差が端子18から得られる。この端子18からの信号がマッチングボックス内の可変コンデンサのモータ駆動のために用いられる。電流信号検出器16からの電流信号VIは、インバータ20によって反転され、加算回路21に供給される。加算回路21には電圧信号検出部17からの電圧信号VVも供給されており、両信号が加算され、VI+VVの信号が加算回路21から得られる。この加算回路21の出力は、高周波出力に応じた強度の信号となる。
請求項（抜粋）：
高周波電源からの高周波電力をマッチングボックスを介して負荷に供給する高周波装置において、高周波出力の供給経路中に高周波電流と電圧を検出する手段を設け、検出された電流と電圧信号を加算することによって高周波出力に応じた信号を得るように構成したことを特徴とする高周波装置における高周波出力検出装置。
IPC (5件)：
G01R 31/00
, C23C 14/40
, G01R 19/00
, G05F 1/00
, C23F 4/00
