クリーンルームシステム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金本哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-254846
公開番号（公開出願番号）：特開平8-089747
出願日： 1994年09月21日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：

【要約】【目的】ガス状不純物も除去できるクリーンルームを提供する。【構成】外気を高性能フィルタを介してクリーンルーム内に導入すると共に、該クリーンルーム内を経た還気を再び高性能フィルタを介してクリーンルーム内に導入するように構成したクリーンルームシステムにおいて、外気や還気中に含まれるガス状不純物を除去するためのガス状不純物除去手段を設ける。

請求項（抜粋）：

外気を高性能フィルタを介してクリーンルーム内に導入すると共に、該クリーンルーム内を経た還気を再び高性能フィルタを介してクリーンルーム内に導入するように構成したものにおいて、外気及び/または還気中に含まれるガス状不純物を除去するためのガス状不純物除去手段を設けたことを特徴とするクリーンルームシステム。

IPC (4件)：

B01D 53/34 , B01D 53/81 , B01D 46/52 , F24F 7/06

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-334519
特開平4-113141
アニリン誘導体及び製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-319421 出願人：日産化学工業株式会社

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