特許

J-GLOBAL ID：200903060668549738

感光性組成物

発明者： 近藤 俊一 ,  梅原 明 ,  若田 裕一
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-269710
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107755
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 (a) 活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物と、(b) 一般式(I) で示されるナフトキノンジアジド誘導体と、(c) アルカリ可溶性ポリマーを含有するポジ型感光性組成物。(式中、Xはを示し、R1 〜R6 は水素原子、ハロゲン原子、(置換)アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アミノ基、ニトリル基を示す。R1 とR2 、R4 とR5 またはR3 とR5 は、互いに結合して脂環、芳香環、複素環を形成してもよい。Ar (置換)アリール基を示し、nは1〜7の整数を示す。)【効果】 高い感光性を有し、広範囲の波長光の使用が可能である。

請求項（抜粋）：

(a) 活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物と、(b) 一般式(I) で示されるナフトキノンジアジド誘導体と、(c) アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とするポジ型感光性組合物。【化1】(式中、Xは【化2】を示し、R1 〜R6 は各々独立に水素原子、ハロゲン原子、置換又は未置換のアルキル基、アリール基、アルコキシ基、アミノ基、ニトリル基を示す。R1 とR2 、R4 とR5 またはR3 とR5 は、互いに結合して脂環、芳香環、複素環を形成してもよい。Ar は置換または未置換のアリール基を示し、nは1〜7の整数を示す。)

IPC (4件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027