試料ホルダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-007011
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204074
出願日： 1998年01月16日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】丈夫で試料を確実に固定可能でX線分析にも悪影響のないようにすること。【解決手段】中央部に試料S保持に使用される本体側貫通孔58fが形成された試料保持プレート装着面を上面に有し、下面に本体側貫通孔58fを挟んで前記貫通孔58fから離れた位置の近傍に設けられた板バネ保持部58cと前記貫通孔58fを横切って形成され且つ両端部が前記貫通孔58fから離れた位置に配置された試料固定プレート収容凹部58gとを有する試料保持部材本体58と、試料保持プレート装着面に装着されるベリリウム(Be)製の試料保持プレートと、試料固定プレート収容凹部58gに収容されて板バネ保持部58c近傍に配置される被押圧部68b,68bを有するBe製の試料固定プレート68と、前記被押圧部68b,68bを押圧する板バネ71とから構成される試料ホルダ。

請求項（抜粋）：

次の要件を備えた試料ホルダ、(A01)互いに垂直な上下に延びるZ軸、前後に延びるX軸、および左右に延びるY軸のうちのZ軸に沿った荷電粒子線の通路の外側を囲むように配置された鏡筒をX軸方向に貫通する筒状のホルダ装着部材により、X軸回りに回転可能且つX軸に沿ってスライド可能に支持されたホルダ外筒、(A02)前記ホルダ外筒の内端部に設けられ、中央部に試料保持に使用される本体側貫通孔が形成された試料保持プレート装着面を上面に有し、下面に前記本体側貫通孔を挟んで前記本体側貫通孔から離れた位置の近傍に設けられた板バネ保持部と前記本体側貫通孔を横切って形成され且つ両端部が前記本体側貫通孔から離れた位置に配置された試料固定プレート収容凹部とを有する試料保持部材本体、(A03)前記試料保持プレート装着面に装着されるとともに前記本体側貫通孔よりも小さなプレート側貫通孔が形成されたベリリウム製の試料保持プレート、(A04)前記試料固定プレート収容凹部に収容されるとともに前記板バネ保持部近傍に配置される被押圧部を有し、且つ前記プレート側貫通孔に対応して形成された試料固定プレート側貫通孔を有するベリリウム製の試料固定プレート、(A05)前記板バネ保持部に保持され且つ前記試料固定プレートの被押圧部を押圧する板バネ。

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