特許
J-GLOBAL ID：200903060688101407
プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-206962
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045193
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 端部付近に欠陥を生じることなくサブトラクティブ加工により所望のラインパターンの障壁を形成する。【構成】 ライン状マスク4aにおけるライン端部の外側に所定間隔dを置いて耐サブトラクティブ性を有する保護用マスク4bを設けた状態でサブトラクティブ加工を行い、ガラスペースト層3の不要部分を除去する。保護用マスク4bがサブトラクティブ加工時における気流の流れを堰き止めるので、ライン状マスク4aの端部下側に流れる気流を減少させ、この部分にあるガラスペースト層3の過大な研削が防止される。ライン端部付近に欠陥を生じることなく障壁を形成できる。
請求項（抜粋）：
ガラス基板上に障壁用のガラスペーストを所定の厚さで塗布して乾燥させることでガラスペースト層を形成し、その上に耐サブトラクティブ性を有するライン状マスクを所定ピッチで形成した後、該ライン状マスクを介してのサブトラクティブ加工によりガラスペースト層の不要部分を除去する工程を含むプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法において、前記ライン状マスクにおけるライン端部の外側に所定間隔を置いて耐サブトラクティブ性を有する保護用マスクを設けた状態でサブトラクティブ加工を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法。
IPC (2件)：
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