特許
J-GLOBAL ID：200903060698047184

感光性組成物及び感光性フィルム、並びに永久パターン形成方法及びパターン

発明者：
有岡 大輔

有岡 大輔 について

, 
神川 弘

神川 弘 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (3件)： 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-330219
公開番号（公開出願番号）：特開2007-139878
出願日： 2005年11月15日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】高感度で表面のタック性が少なく、現像性、保存安定性に優れ、フィルム化した際の剥離性に優れ、現像後は優れた耐熱性、耐薬品性、表面硬度などが得られ、高精細なパターンが形成可能な感光性組成物、及び感光性フィルム、並びに、半導体分野における高精細な永久パターン(保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンなど)を高精細に、かつ、効率よく形成可能な永久パターン形成方法、及びパッケージ基板を含むプリント配線基板等の製造に好適なパターンを提供。【解決手段】含窒素へテロ環構造を少なくとも有するエポキシアクリレート化合物を少なくとも含む感光性組成物である。また、支持体と、該支持体上に前記感光性組成物が積層されてなる感光層とを少なくとも有してなる感光性フィルム、並びに永久パターン形成方法及びパターンである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
含窒素へテロ環構造を少なくとも有するエポキシアクリレート化合物を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/20 ,  H05K 3/00 ,  C08F 290/00 ,  C08G 59/17
FI (9件)：
G03F7/027 515 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/028 ,  G03F7/20 501 ,  H05K3/00 F ,  H05K3/00 G ,  C08F290/00 ,  C08G59/17
Fターム (105件)：
2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AA13 ,  2H025AA15 ,  2H025AA16 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC73 ,  2H025BC74 ,  2H025CA01 ,  2H025CA07 ,  2H025CA14 ,  2H025CA18 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA30 ,  2H025CA35 ,  2H025CA39 ,  2H025CA48 ,  2H025CC03 ,  2H025CC17 ,  2H025EA08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA10 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H097AA03 ,  2H097FA02 ,  2H097LA09 ,  4J036AD07 ,  4J036AD08 ,  4J036AF01 ,  4J036AF06 ,  4J036CA21 ,  4J036JA09 ,  4J036JA10 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127AA06 ,  4J127BB041 ,  4J127BB131 ,  4J127BB161 ,  4J127BB191 ,  4J127BB221 ,  4J127BB281 ,  4J127BB301 ,  4J127BC031 ,  4J127BC141 ,  4J127BC151 ,  4J127BD061 ,  4J127BD201 ,  4J127BE29Z ,  4J127BE291 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BE43Z ,  4J127BE431 ,  4J127BE53Z ,  4J127BE531 ,  4J127BF26Z ,  4J127BF261 ,  4J127BF29Y ,  4J127BF291 ,  4J127BF30Y ,  4J127BF301 ,  4J127BF31Y ,  4J127BF311 ,  4J127BF58Z ,  4J127BF581 ,  4J127BF66Z ,  4J127BF661 ,  4J127BG04Y ,  4J127BG04Z ,  4J127BG041 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG05Z ,  4J127BG051 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG10Z ,  4J127BG101 ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG31Z ,  4J127BG311 ,  4J127BG33Z ,  4J127BG331 ,  4J127CB371 ,  4J127CC111 ,  4J127DA52 ,  4J127FA16 ,  4J127FA17 ,  4J127FA18 ,  4J127FA38
引用特許：
出願人引用 (2件)

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