特許

J-GLOBAL ID：200903060703477869

真空処理室内のウェハ搬送装置

発明者： 長南 純一
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-005907
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199567
出願日： 1996年01月17日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】真空処理室内のウェハ搬送装置において、ロボット7内の送り機構の不具合を事前に検知しウェハ17の破損を防止する【解決手段】予じめ移動距離が決められた搬送アーム8が真空空間中に移動する距離を測定するオプチカルスケール1aと検出器2aとでなるセンサと、予じめ設定する移動量と前記センサが検知する移動量とのずれを検出する比較回路6とを設け、送り機構の不具合によるトルクリミッタ11a,11b,11cのスリップを事前に検知している。

請求項（抜粋）：

真空室に収納されるとともにウェハを保持し一方向の移動および回転並びに上下動させ該真空室に隣接する真空処理室に前記ウェハを搬送する3軸ロボットと、この3軸ロボットの前記3軸方向の移動を担うそれぞれを回転軸を回転するとともに前記真空室外に配設される駆動源機構と、この駆動源機構の回転力を前記回転軸に伝達するとともに前記回転軸が過負荷のときスリップする継手をもつとともに前記真空室外に配設されるトルクリミッタとを備える真空処理室内のウェハ搬送装置において、前記3軸ロボットの該アームの移動距離を測定するセンサと、前記アームの前記移動距離の移動を行なうための前記駆動源機構の前記トルクリミッタへ伝達する回転数を計数するロータリーエンコーダと、前記移動距離を前記回転軸の回転数に換算する値と該ロータリーエンコーダの回転数とを比較する比較器とを備えることを特徴とする真空処理室内のウェハ搬送装置。