特許

J-GLOBAL ID：200903060708865158

線幅およびエッジ凹凸度測定方法と測定装置

発明者： 大橋 慎一 ,  北沢 佳月 ,  吉田 薫 ,  渡辺 洋一
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 住吉 多喜男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-138667
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288507
出願日： 1997年05月28日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 電子写真技術により形成される画像の線幅およびエッジの凹凸度を測定する方法と装置を提供する。【解決手段】 線画像をCCDカメラで撮影し、モニタ装置に表示する。線画像のエッジを検出するために、矩形領域を設定する。矩形領域内の画像情報を処理して水平方向あるいは垂直方向の一画素線毎の反射率データとし、その被測定線画像のモニタ画面上に水平方向あるいは垂直方向の一画素線毎に、反射率分布と閾値nのときの反射率Rnとの交点をプロットし、しかもこのプロットは被測定線画像のエッジとモニタ画面上で一致するよう閾値nを調整して決めることで被測定線画像のエッジを検出する。そして、これらのエッジから前記被測定線画像の線幅を算出する。

請求項（抜粋）：

被測定線画像の画像情報を処理して水平方向あるいは垂直方向の一画素毎の反射率データとし、その被測定線画像のモニタ画面上に水平方向あるいは垂直方向の一画素線毎に、反射率分布と閾値nのときの反射率Rnとの交点をプロットし、しかもこのプロットは被測定線画像のエッジとモニタ画面上で一致するよう閾値nを調整して決めることで被測定線画像のエッジを検出する工程と、これらのエッジから前記被測定線画像の線幅を算出する線幅算出工程を具備したことを特徴とする線幅測定方法。

IPC (4件)：

G01B 11/02 ,  B41J 2/52 ,  G03G 15/08 507 ,  H04N 1/40

FI (4件)：

G01B 11/02 H ,  G03G 15/08 507 K ,  B41J 3/00 A ,  H04N 1/40 Z