特許

J-GLOBAL ID：200903060721795266

断面形状測定方法

発明者： 塚田 敏彦 ,  中野 倫明 ,  山本 新
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 守田 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-307943
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125508
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：

【要約】【課題】 表面各部の反射率が大きく異なる対象物に対して、光切断法による断面形状の測定を良好に行う。【解決手段】 対象物4にセンサヘッド3内のスリット光源からスリット光Lを投射する。センサヘッド3内のTVカメラで、対象物4からのスリット光Lの反射光画像を異なるシャッタスピードでそれぞれ得て、これら反射光画像をデータ処理装置5内で合成し、合成した画像より対象物4の断面形状を得る。

請求項（抜粋）：

対象物からのスリット光の反射光画像を異なる露光量でそれぞれ得て、これら反射光画像を合成した画像より対象物の断面形状を得ることを特徴とする断面形状測定方法。