金属部材の表面硬化方法および硬質膜被覆金属部材の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207940
公開番号（公開出願番号）：特開平5-051726
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】SUS304等からなる金属部材の表面を短時間の処理で硬化することを目的とする。【構成】金属部材21、22が配置された真空チャンバ1内をプラズマ23雰囲気とした後、前記チャンバ1内に窒素元素を含むガスを導入しながら、前記金属部材21、22に負電圧を印加してプラズマ23を照射することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

金属部材が配置された真空チャンバ内をプラズマ雰囲気とした後、前記チャンバ内に窒素元素を含むガスを導入しながら、前記金属部材に負電圧を印加してプラズマを照射することを特徴とする金属部材の表面硬化方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-267358
特開平1-129958
特開昭63-026362

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