特許
J-GLOBAL ID:200903060728714148

透明導電膜の形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 坂本 栄一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-293295
公開番号(公開出願番号):特開平6-150741
出願日: 1992年10月30日
公開日(公表日): 1994年05月31日
要約:
【要約】【構成】 スズのアルコキシドの溶液を基板に塗布し、次いで熱処理することによる酸化スズ系透明導電膜を製造する方法において、溶液が一般式Sn(OR)nCl4-n(ただし、Rはアルキル基を表し、nは2≦n≦4である。)で表されるスズのアルコキシド、三塩化アンチモンなどのアンチモン化合物およびフッ化第一スズなどのフッ素化合物を含むアルコール性溶液であることを特徴とする酸化スズ系透明導電膜の製造方法。【効果】 本発明の方法によると、ディップコート法あるいはスピンコート法といった簡便な方法で高い導電率と可視光透過率を有する透明導電膜を形成することができるという効果を奏する。
請求項(抜粋):
スズのアルコキシドの溶液を基板に塗布し、次いで熱処理することによる酸化スズ系透明導電膜を製造する方法において、溶液が一般式Sn(OR)nCl4-n(ただし、Rは炭素数1〜12のアルキル基を表し、nは2≦n≦4である。)で表されるスズのアルコキシド、アンチモン化合物およびフッ素化合物を含むアルコール性溶液であることを特徴とする酸化スズ系透明導電膜の製造方法。
IPC (3件):
H01B 13/00 503 ,  C01G 19/00 ,  H01B 5/14

前のページに戻る