特許

J-GLOBAL ID：200903060742486085

モニタリング装置、プロセス装置、モニタリング方法、データ収集方法および半導体装置の製造方法

発明者： 村上 貞俊
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-286560
公開番号（公開出願番号）：特開2002-099328
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】機器の稼動状態を精度良く判断することが可能となるようなモニタリング装置を提供すること。【解決手段】 プロセス機器AのセンサA1、A2、A3からの出力であるセンサデータを記憶するためのデータ収集部14と、センサデータと判断用データとの共分散を算出するとともに、センサデータと前記判断用データとの相関係数を算出するとともに、共分散と相関係数とに基づいてプロセス機器Aの稼動状態を判断するための異常判定部16を備えることを特徴とするモニタ10。

請求項（抜粋）：

装置の稼動状態を示す情報を検知するセンサからの出力に基づいて、前記装置の稼動状態を判断するモニタリング装置において、前記センサからの出力であるセンサデータを記憶するための第1の記憶手段と、前記装置の稼動状態を判断するために用いられる判断用データを記憶するための第2の記憶手段と、前記センサデータと前記判断用データとの共分散を算出する第1の算出手段と、前記センサデータと前記判断用データとの相関係数を算出する第2の算出手段と、前記共分散と前記相関係数とに基づいて前記装置の稼動状態を判断するための判断手段と、を備えることを特徴とするモニタリング装置。

IPC (3件)：

G05B 23/02 302 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

G05B 23/02 302 T ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/302 E

Fターム (16件)：

5F004AA16 ,  5F004BA05 ,  5F004BB12 ,  5F004BB13 ,  5F004CB16 ,  5F004DA00 ,  5F004DA04 ,  5F004DB01 ,  5H223AA01 ,  5H223AA05 ,  5H223BB01 ,  5H223CC08 ,  5H223DD03 ,  5H223DD09 ,  5H223EE06 ,  5H223FF06