特許
J-GLOBAL ID：200903060750556831
照明光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-287433
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045604
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 フライアイレンズを用いた照明光学装置に於て、通常の光源を用いても、長方形の照明エリアを高い効率をもって照明し得るようにした照明光学装置を提供する。【構成】 前記フライアイレンズと前記照明エリアとの間にアナモフィックな光学系を配置する。
請求項（抜粋）：
光源の像をフライアイレンズを介してコンデンサレンズに入射させ、このコンデンサレンズと投影光学系との間に、照明すべき透光性の被照明体を配置する照明光学装置に於て、前記フライアイレンズと前記照明エリアとの間にアナモフィックな光学系を配置したことを特徴とする照明光学装置。
IPC (3件)：
G02B 27/00
, G03B 21/14
, H01L 21/027
