特許

J-GLOBAL ID：200903060752873826

フロ-センサモジュ-ル

発明者： 上西 盛聖
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  リコーエレメックス株式会社
代理人 (1件)： 柏木 慎史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-373373
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193504
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 ソリッドステムに固定・配線されたフローセンサを破壊することなく正確に流路に配設することが可能なフローセンサモジュールを得る。【解決手段】 フローセンサ12が固着された円柱状のソリッドステム13が取り付けられる支持部材に、流路10に取り付けられた状態で流路10の内壁の両側面19aにそれぞれ接するガイド板20を設ける。これにより、流路10に形成された取付穴17にフローセンサモジュール11を差し込む際には、ガイド板20が流路10の内壁の両側面19aに接して位置決めされるので、ソリッドステム13を取付穴17に対して回転させてしまうことが防止され、したがって、フローセンサ12が破壊されることがない。

請求項（抜粋）：

板状の導体又は半導体の表面に電気的な絶縁体膜が形成された基台に前記表面に開口部を有する空間が設けられることにより薄膜状のブリッジ部或いはダイアフラム部が形成されて、前記ブリッジ部或いは前記ダイアフラム部に発熱体が設けられたフローセンサと、前記フローセンサ出力信号出力用のリードピンを有し前記フローセンサが取り付けられる円柱状のソリッドステムと、前記ソリッドステムが取り付けられる支持部材と、流路の幅に略等しい間隔をあけて対向する一対のガイド部材であって、前記ソリッドステムに対して前記流路における流体の流れ方向上流側又は下流側に位置させて設けられて、前記流路に取り付けられた状態では前記流路の内壁の両側面にそれぞれ接するガイド板と、を備えるフローセンサモジュール。

Fターム (1件)：

2F035EA08