特許
J-GLOBAL ID：200903060755619963
レ-ザマ-キング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-325158
公開番号（公開出願番号）：特開平6-170562
出願日： 1992年12月04日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】この発明はワ-クデイスタンスを短くせずにレ-ザ光を振ってマ-キングできるようにしたレ-ザマ-キング装置を提供することにある。【構成】 レ-ザ発振器11から出力されたレ-ザ光を所定のパタ-ン12が形成されたマスク13に照射し、上記パタ-ンを透過したレ-ザ光を結像レンズ15で被加工物に結像させてマ-キングするレ-ザマ-キング装置において、レ-ザ光を透過する材料で形成されているとともに入射面と出射面とが平面をなし上記レ-ザ光の光路の上記マスクの出射側に配置された光学素子14と、この光学素子を所定の回転角度で揺動駆動する駆動手段15とを具備し、上記光学手段は、その揺動角度に応じて上記レ-ザ光を屈折させることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
レ-ザ発振器から出力されたレ-ザ光を所定のパタ-ンが形成されたマスクに照射し、上記パタ-ンを透過したレ-ザ光を結像レンズで被加工物に結像させてマ-キングするレ-ザマ-キング装置において、レ-ザ光を透過する材料で形成されているとともに入射面と出射面とが平面をなし上記レ-ザ光の光路の上記マスクの出射側に配置された光学素子と、この光学素子を所定の揺動角度で揺動駆動する駆動手段とを具備し、上記光学素子は、揺動角度に応じて上記レ-ザ光を屈折させることを特徴とするレ-ザマ-キング装置。
IPC (7件)：
B23K 26/00
, B23K 26/06
, B41J 2/44
, B41M 5/24
, G02B 26/08
, G02B 26/10 101
, H01L 23/00
