特許

J-GLOBAL ID：200903060761164870

ガス放電パネルの製造方法

発明者： 米原 浩幸 ,  安井 秀明
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 中島 司朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-013209
公開番号（公開出願番号）：特開2002-298740
出願日： 2002年01月22日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 誘電体層表面に良好に保護層を形成することによって、優れた表示性能のガス放電パネルを製造することが可能なガス放電パネルの製造方法を提供する。【解決手段】 大気と隔離したドライガスを充満させたドライガス雰囲気装置100を用いる。このドライガス雰囲気装置100の内部において、誘電体層を形成したパネルガラスを誘電体層清浄室102に搬送する。そして、保護層を形成する前に、当該誘電体層清浄室102において、酸素を含むドライガス雰囲気下で、誘電体層表面に紫外線照射し、誘電体層表面を清浄処理する。これに続くスパッタ室103にて保護層を形成する。

請求項（抜粋）：

パネル上に誘電体層を形成する誘電体層形成工程と、保護層を形成する保護層形成工程とを経るガス放電パネルの製造方法であって、前記保護層形成工程に先立ち、パネル上に形成した誘電体層の表面を清浄処理する誘電体層清浄工程を経ることを特徴とするガス放電パネルの製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/38 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (3件)：

H01J 9/38 A ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

Fターム (13件)：

5C012AA05 ,  5C012BD02 ,  5C012BD04 ,  5C027AA05 ,  5C027AA10 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GD09 ,  5C040GE09 ,  5C040JA23 ,  5C040MA17 ,  5C040MA19