特許

J-GLOBAL ID：200903060767394118

密閉容器、その封止方法、封止装置および封止具構造

発明者： 有賀 亨
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-022457
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223027
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 高い真空度までの排気と高真空の下での封止を可能とする密閉容器や、その封止方法を提供する。【解決手段】 被密閉容器の排気孔から排気手段によって排気し、前記容器内を所定の真空度とした後、前記排気孔を封止する封止方法において、前記容器の排気孔に設けた排気口部材に、前記排気手段と連通された排気用部材を気密に接合する工程と、前記排気手段により前記容器内を前記排気口部材および排気用部材を通じて排気して所定の真空度とする減圧工程と、前記排気口部材に封止蓋を接合・封止する工程と、前記排気口部材から前記排気用部材を離脱する工程とを具有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被密閉容器の排気孔から排気手段によって排気し、前記容器内を所定の真空度とした後、前記排気孔を封止する封止方法において、前記容器の排気孔に設けた排気口部材に、前記排気手段と連通された排気用部材を気密に接合する工程と、前記排気手段により前記容器内を前記排気口部材および排気用部材を通じて排気して所定の真空度とする減圧工程と、前記排気口部材に封止蓋を接合・封止する工程と、前記排気口部材から前記排気用部材を離脱する工程とを具有することを特徴とする密閉容器の封止方法。

IPC (8件)：

H01J 9/40 ,  G09F 9/00 344 ,  G09F 9/313 ,  H01J 7/14 ,  H01J 9/385 ,  H01J 29/86 ,  H01J 31/12 ,  H01L 21/3065

FI (8件)：

H01J 9/40 A ,  G09F 9/00 344 A ,  G09F 9/313 E ,  H01J 7/14 ,  H01J 9/385 A ,  H01J 29/86 Z ,  H01J 31/12 C ,  H01L 21/302 B